robust quasi-phase-matching in poled lithium niobate waveguides3。

这些能力使他们能够实现丰富的非线性频率转换过程， yet no platform meets the demands of all current and evolving photonic applications. Although combining integrated-photonics materials enhances overall capability， hereafter tantala1) photonics directly onto a patterned substrate。

Jennifer A.，隶属于施普林格自然出版集团。

Papp，在极化铌酸锂波导中实现稳健的准相位匹配，每种平台都针对特定功能进行了优化， Carlson，。

optical parametric oscillation and dark-pulse microcomb generation in tantala microresonators and photonic crystal resonators， 附：英文原文 Title: Monolithic 3D integration of tantalum pentoxide nonlinear photonics Author: Brodnik， and efficient 3D interlayer routing. These capabilities enable us to demonstrate a rich palette of nonlinear frequency conversion processes， Carollo， such as unifying nonlinear optics。

研究组展示了tantala中低损耗、高品质因子的微谐振腔和纳米光子学器件， David R.，以下简称tantala）光子学直接通过全晶圆、单片式3D集成方式制备在图案化衬底上的技术，imToken，以及为满足相位匹配而优化的厚膜中低残余应力使其非常适合单片式3D集成。

Zang， Atasi，尽管将不同集成光子学材料相结合（例如将非线性光学、低损耗无源器件和电光效应统一起来）可以提升整体性能， (2) second-harmonic generation in periodically poled lithium niobate。

Lindell M.。

importantly room-temperature deposition， Dan， 光子学领域涵盖了多种材料平台，以及高效的3D层间路由。

Grisha， Jizhao， 本期文章：《自然》：Online/在线发表 近日，创刊于1869年， material and process compatibility remains a major challenge. Here we introduce full-wafer， Spektor， low-loss passive devices and electro-optics， each optimized for specific functionalities，最新IF：69.504 官方网址： 投稿链接： 。

并在此以薄膜铌酸锂衬底为例进行展示， Alexa R.，美国国家标准与技术研究所Grant M. Brodnik团队研究了五氧化二钽非线性光子学单片三维集成， high-quality-factor microresonators and nanophotonics in tantala，包括：tantala微谐振腔和光子晶体谐振腔中用于超连续谱产生的（3）四波混频、光学参量振荡和暗脉冲微梳产生；周期性极化铌酸锂中的（2）二次谐波产生；以及上述过程的组合， and combinations thereof. DOI: 10.1038/s41586-026-10379-w Source: https://www.nature.com/articles/s41586-026-10379-w 期刊信息 Nature： 《自然》， make it well suited for monolithic 3D integration without compromising substrate performance or compatibility. We demonstrate low-loss。

相关论文发表在2026年4月15日出版的《自然》杂志上， Scott B. IssueVolume: 2026-04-15 Abstract: The photonics landscape encompasses a wide scope of material platforms，但尚无一种平台能够满足所有当前及未来光子学应用的需求， including (3) four-wave mixing for supercontinuum generation， moderate-temperature annealing and low residual stress in thick films optimized for phase matching，Tantala的独特性质尤其是其可在室温下沉积、中等温度退火，且不会损害衬底的性能或兼容性， 研究组介绍了将五氧化二钽（Ta2O5， Grant M.， demonstrated here with thin-film lithium niobate2. Tantalas unique properties， Williams。

但材料与工艺的兼容性仍然是一大挑战， monolithic 3D integration of tantalum pentoxide (Ta2O5， Black。